什么是原子探針場離子顯微鏡？問一問玻璃鏡片廠家

2021-08-06 02:10:38

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原子探針場離子顯微鏡的定義

由E.W.Müller在20世紀50年代發明的場離子顯微鏡(FIM)，是別具一格的原子直接成像方法，它能清晰地顯示樣品表層的原子排列和缺陷，在此基礎上進一步發展的原子探針(AP)和三維原子探針(3DAP) 則可以對不同元素的原子逐個進行分析，鑒定其元素類別，其中3DAP還可以給出納米空間中不同元素原子的分布圖形。

場離子顯微鏡結構，它由一個真空容器組成，被研究材料的樣品制成針尖形狀，其尖端曲率半徑約為50nm，被固定在距離熒光屏大約50mm的位置。樣品被冷卻至深低溫，以減小原子的熱振動，使原子的圖像穩定可辨，并接3～30kV正高壓作為陽極。儀器工作時，首先將容器抽到10-8Pa的真空度，然后通入氦氣、氖氣或氬氣等成像氣體至10-3Pa。在加上足夠高的電壓時，樣品尖端附近的氣體原子發生極化和電離，氣體離子在電場作用下射向熒光屏產生亮斑，在熒光屏上即可顯示尖端表層原子的清晰圖像，其中每一亮點都是單個原子的像。為了使圖像得到增強，在熒光屏前面放置一塊微通道板，當氣體離子射入微通道板后，產生一束增強的二次電子，二次電子轟擊到熒光屏上產生一個增強的亮斑。

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